触針式膜厚計

メーカーULVAC
型番(形式)Dektak150
設置場所22号館317室
管理室光電子分光室
公開範囲学内のみ

試料表面に触針を接触させ、試料台を直線的に走査させます。触針が試料の凹凸形状に追従することで、表面形状を測定することができます。
触針圧を1mgまで制御できることで柔らかい材料の測定ができます。

装置性能および仕様

垂直表示レンジ6.5μm~524μm
垂直分解能/測定レンジ(最高)0.1nm/6.5μm
測定距離50μm~55mm
触針圧1~15mg
触針半径12.5μm

分析対象

分析不可脆い試料(有機膜など)は触針で破壊され測定できないことがあります
状態半導体基板、電子部品基板の膜厚・段差・形状測定

RHEED/LEED装置

メーカー
型番(形式)
設置場所2号館605B室
管理室RCS-III
公開範囲学内

反射高速電子線回折法(Reflection High Energy Electron Diffraction : RHEED)は、真空中で10~50keV程度の電子線を試料表面に浅い角度で入射させ、試料表面の数原子層程度の結晶格子で回折した反射図形を検出することで結晶表面の状態を調べる分析手法です。低速電子線回折法(Low Energy Electron Diffraction:LEED)は低速(数百~数十eV)の電子線を固体表面に照射し,固体表面の原子により散乱された電子線の回折像から表面の原子配列に関する情報を得る方法です。本装置では、RHEEDとLEEDの両測定を、試料を真空中から取り出さず行うことができます。

装置性能および仕様

最高到達真空度約10-9 torr

分析対象

状態主に無機固体結晶性材料(金属・半導体)

STM搭載RHEED装置

メーカー
型番(形式)
設置場所2号館601B室
管理室RCS-III
公開範囲学内

反射高速電子線回折法(Reflection High Energy Electron Diffraction : RHEED)は、真空中で10~50keV程度の電子線を試料表面に浅い角度で入射させ、試料表面の数原子層程度の結晶格子で回折した反射図形を検出することで結晶表面の状態を調べる分析手法です。走査型トンネル顕微鏡(STM)は、探針・試料間距離に敏感なトンネル電流を利用して、表面形状を原子分解能で観察する手法です。試料を真空中で受け渡しでき、RHEEDで計測した試料の表面形状を原子分解能で観察できます。

装置性能および仕様

最高到達真空度約10-9 torr

分析対象

状態主に無機固体結晶性材料(金属・半導体)

透過型電子顕微鏡(TEM)

透過型電子顕微鏡
メーカー日本電子
型番(形式)JEM-2100Plus
設置場所22号館102室
管理室透過型電子顕微鏡室I
公開範囲学内外

透過型電子顕微鏡特有の観察手法である転位や暗視野像の観察に十分なコントラストが得られるため、材料の結晶学的な知見を得ることができる。

装置性能および仕様

加速電圧80~200 kV
電子銃LaB6
観察モード透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)
分析機能エネルギー分散型X線分光器(EDS)
試料ホルダ強化仕様ベリリウム試料2軸傾斜ホルダ(X軸:±15度、Y軸:±25度)
高傾斜試料台 (X軸:±80度)
分解能TEM粒子像:0.31nm、TEM格子像:0.14nm、STEM明視野像:2.0nm
画面上での倍率TEM像:×30~×800,000(ハイコントラスト仕様)、STEM像:×100~×2,000,000
観察画像明視野走査透過像、暗視野走査透過像の取得が可能
取得した連続傾斜像からの三次元画像取得が可能(電子線トモグラフィー)

分析対象

試料サイズ試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります
状態無機物質

測定例

Ni-4.8mol%Al-6.1mol%Ti合金は、熱処理により複雑な構造を呈します。下の明視野像は、溶体化処理後、950℃ 45min. → 700℃ 8days と、二段階に時効処理をしたものです。
母相(γ)は不規則相のFCC構造であり、溶体化処理時にはγ単相となります。そこから950℃に降温すると、γ+γ’ 二相域となるため、γ’(L12構造)が析出します。このγ’相が立方体形状の粒子に成長したところでさらに700℃に降温すると、950℃でのγ’相の組成が700℃ではγ+γ’二相域になってしまうため、γ’粒子の中からγ相が析出します。そのようにして700℃でγ’粒子内部で析出したγ相を8日間時効すると板状に成長します。明視野像では線or棒のように見えますが、紙面垂直方向に立った板状です。

Ni-4.8mol%Al-6.1mol%Ti合金の明視野像

γ’析出粒子の相分解のメカニズム

γ’相(四角い粒子)はL12構造であり、電子回折図形では規則格子反射のスポットが得られます。赤丸で囲んだ110規則格子反射を用いて暗視野像としたのが下の写真です。γ’相の中にある板状の粒子は母相と同じγ相(FCC構造)であり、暗視野像では光らないため、結晶構造の違うものを明確に区別することができます。

Ni-4.8mol%Al-6.1mol%Ti合金の110γ’暗視野像

001γ’電子回折図形

通信性能評価汎用機器

メーカーキーサイト・テクノロジー
型番(形式)53210A, 外
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

RFカウンタ(350MHz)、電源、データロガー、汎用オシロスコープ(4チャンネル、350MHz)、通信インターフェース、熱電対、等の汎用装置です。各種計測システムの補助的な装置としてご利用ください。

構成詳細

製品名型式
RF Counter, 350 MHz, 10 digit/s, LAN, USB,GPIB53210A
Oscilloscope, 4-channel, 350 MHzDSOX3034T
Software Bundle for 3000 X-SeriesD3000BDLA
DC power supply, triple-output, 6 V, 5 A and 2 x 25 V, 1 A, 80 W: LAN, USB, AC 100V single-phase 3-wire. 100 VAC +/- 10V operation, 47 to 63 HzE36312A
GPIB interface module for E36312A, E36313A – installedE36312A-GPB
DC 電源, 30V-5A, Option 0E9 – 90 to 110 VAC, 47 to 63 HZ, Warranty, 3mth for included accessoriesU8002A
Multimeter – DC Power Supply
Warranty, 3mth for included accessories
U3606B
精密電子 DDM テスト リード線34133A
True RMS 50000 count handheld DMM with OLED displayU1253B
Test lead kitU1168B
Data Acquisition System with USB and LANDAQ970A
Multiplexer (2/4-wire) Module 20 ChannelDAQM901A
熱電対キット: J タイプ熱電対 (長さ72 インチ)×1034307A

光・電気通信波形解析システム

メーカーキーサイト・テクノロジー
型番(形式)N4377A, 外
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

【光通信】
生成された光信号の波形解析、各種イコライジングやフィルタリングの適応やDSPによる波形再生、さらにTDECQ (Transmitter and dispersion eye closure for PAM-4)測定を含む高度な波形解析が可能。その他、光部品の豊富な静特性、動特性も可能。
【電気特性】
生成された電気信号の波形解析、特にTDECQを含む高度なアイパターン評価が可能。

装置性能および仕様

光検出装置光検出器40GHz@850/1310/1550nm
バイアスティー 40MHz ~ 50GHz
光パワーメータ、光減衰器、精密電流/電圧源
主なソフトウェア構成Sparklinghtwave (周波数応答特性測定ツール、光部品測定ツール)、アドバンスド・アイ解析ツール(PAM-4のTDECQ測定等)
備考・送信機(信号発生器)と受信器(光の場合はO/E変換器)は別途ご用意ください。本解析装置の利用目的によっては、無償で利用できますのでご相談ください。
・光通信の場合、別途共用装置であるネットワークアナライザを用いるとO/Eコンバータ等での影響を除去した正確なS21パラメータが取得できます。
・光通信の場合、Sample Txとして25 Gbaud対応VCSEL x1, 50 Gbaud対応VCSEL x1の利用可能(ご相談ください)

測定例1

マルチモード光ファイバ(GI-POF)10m伝送後の光信号50Gb/s (25GBaud-PAM4)波形

Adapted FFE処理後

Adapted TDECQ処理後

測定例2

マルチモード光ファイバ(GI-POF)40m伝送後の光信号50Gb/s (25GBaud-PAM4)波形

光検出器入力

Adapted TDECQ処理後

構成詳細

製品名型式
Lightwave DetectorN4377A
Lightwave Detector 40 GHz, multimode, 850 nm CalibrationN4377A-M40
Extended 1310/1550 nm Calibration for M40N4377A-MW2
バイアス ネットワーク 45 MHz – 50 GHz11612B
Precision Source/Measure Unit, 2ch, 100fA resolution, 210V, 3A DC/10.5A pulseB2902A
Optical Attenuator for Multimode Fiber (2 channels)N7766A
光マルチメータ メインフレーム8163B
Si Optical head, 5mm Diameter81620B
光ヘッド用アダプター (D 型)81624DD
コネクター アダプター FC/PC/SPC/APC81001FA
インターフェース モジュール (チャネル数:1)81618A
Sparklightwave 周波数応答特性測定ツール(光導波路・変調器・レーザーダイオード・フォトダイオードの静特性評価)PS-XSN-100
Sparklightwave 光部品測定ツール(光導波路・変調器・レーザーダイオード・フォトダイオードの動特性評価)PS-XSN-100
N1092C UpgradesN1092CU
Advanced Eye Analysis Software upgradeN1092CU-401

ネットワークアナライザ

メーカーキーサイト・テクノロジー
型番(形式)E5080B, 外
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

高周波回路網の通過、および反射電力の周波数特性を(Sパラメータ等により)測定するネットワーク・アナライザおよび、電子校正モジュールからなるハードウェアに加え、UTP(シールド無し対線)やSTP(シールド付き対線)等のケーブルを含むリンクセグメントの評価を行うソフトウェア、および車載イーサネットのコンプライアンス・ソフトウェアを含むシステム構成です。

装置性能および仕様

ネットワークアナライザ周波数100kHz~44GHz、4ポート
主なソフトウェア構成100/1000BASE-T1(およびOPEN Alliance SIG TC9)リンク、ケーブル評価ソフト
備考電子校正モジュール(40GHz-2ポート)付属

構成詳細

製品名型式
ENA Series vector network analyzerE5080B
4-port test set, 100 kHz to 44 GHzE5080B-4N0
Enhanced time domain analysis with TDRS96011B
ECal module 40 GHz 2-port 2.92 mm Both 2.92 mm connectors are female on moduleN4692D
Add 2.92 mm adaptersN4692D-00A
DC to 40 GHzN4692D-0DC
Cable and connector complianceAE6800L
Cable and connector (Link Segment) compliance softwareAE6800C
Automotive etherent Cable and Connector (LX) SoftwareAE6910L
3.5 mm キャリブレーションキット85052D

電気車載イーサネット評価システム

メーカーキーサイト・テクノロジー
型番(形式)DSO404SA, 外
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

本装置は100/1000BASE-T1コンプライアンステストに関する必要な機器とソフトにより構成されています(構成詳細参照)。送信機(Tx)、および受信機(Rx)試験における各種波形解析ソフトに加え、デバッグツールとしてオシロスコープのデータを周波数軸、時間軸、信号パワーの3軸でノイズの中の信号を分離し可視化できるNoise Visualizerも実装されています。

装置性能および仕様

主なハードウェア構成オシロスコープ(4GHz)、パルス発生器(330 MHz)/任意波形発生(500 MHz)、メディコン、高周波プローブ、汎用テストフィクスチャー
主なソフトウェア構成100/1000BASE-T1規格適合試験、PAM-N解析、シグナルインテグリティ、ジッタ解析、Tx/Rx試験、ノイズビジュアライザー
備考テストフィクスチャーは原則持参で測定願います。ただし、構成詳細に記載のテストフィクスチャーは使用可能です。

構成詳細

製品名型式
Oscilloscope – Infiniium S Series 4 GHz 4 channel (400 Mpts/CH Memory)DSOS404A
Advanced Signal Integrity Software (EQ, InfiiniSimAdv, Crosstalk)D9020ASIA
EZJIT Complete – Jitter and Vertical Noise Analysis Software for 9000/S-SeriesD9010JITA
Pulse Amplitude Modulation PAM-N Analysis SoftwareD9010PAMA
InfiniiScan Event Identification Software for 9000/S-SeriesD9010SCNA
High Speed Automotive Protocol Decode/ Trigger Software (100BASE-T1)D9020AUTP
Probe Amplifier, InfiniiMax, 1.5 GHz1130B
Probe head – 6GHz InfiniiMax differential browser- wide spanE2675B
InfiniiMax differential solder in probe head and accessories – 12 GHzN5381B
Automotive Ethernet Test FixtureAE6941A
BNC cable8120-1840
Probe head – pigtailN7021A
Automotive Ethernet SolutionAE6900T
Adapter, Precision BNC (m)- SMA (f)AE6900T-102
Cable , 50-Ohm SMA(m) -SMA(m)AE6900T-104
Frequency Divider Board AE6950AAE6900T-FDB
Cable; Cable Assembly, 3.5 mm (m) to 3.5 mm (m), 26.5 GHz, 36 inch use with P5000AAE6900T-111
Automotive Ethernet Rx Solution AE6900R
Automotive Ethernet 1000/100 BASE- T1 to standard Ethernet 1000BASE-TX media converter APM1000EAE6900R-M1E
MATEnet to MATEnet cableAE6900R-105
50 ohm loadAE6900R-106
Automotive Ethernet 1000/100 BASET1 to standard Ethernet 1000BASETX media converter – opt CLK with 3x MMCX to SMA cablesAE6900R-M2E
Mini50 to Mini50 CableAE6900R-108
Automotive Ethernet Receiver Compliance SoftwareAE6910R-1FP
1 or 2 Channel Pulse Function Arbitrary Generator81160A
2 Channel 330MHz Pulse Function Arbitrary Generator81160A-002
Probe deskew and performance verification kitE2655C
Adapter-Coaxial straight Female-SMA Male-BNC1250-2015
SMA to Mini-50 adapter boardAE6942A
SMA to MATEnet adapter board AE6943AAE6943A
車載 Ethernet 分離治具 EID:JPJ1A2NN20089PS-XSN-100
SMA snap-on コネクタPS-XSN-100
Noise Visualiser EID:JPJ1A2NN20138PS-XSN-100
車載イーサネットテストフィクスチャ  EID#JPJ1A2NN20173PS-XSN-100
2.4 mm メス – 2.92 mm メス アダプター11904B
Automotive Ethernet 1000/100 BASE-T1 to 1000BASE-TX media converter with smart bufferingAPM1000ET
Vehicle Spy 3 Enterprise (Full Version)AP0000A-SPY

小型環境試験器

メーカーエスペック
型番(形式)SH-642
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

-45~150℃の範囲で環境試験を行うための高温恒湿槽。上記試験を決められた温度で試験できるよう、ソフト連携も可能。

装置性能および仕様

温湿度範囲-40~+150℃ / 30~95%rh
内寸W400×H400×D400
ケーブル孔左右にΦ25の孔を各1
備考・プログラムパターンのコピーやサンプリングデータ出力をUSBメモリーで行えます。USBメモリーポートを標準装備し、PCを使用せずに、装置間のプログラムパターンをコピーすることができます。
・装置に保存した温湿度データをUSBメモリーに出力することもできます。
・Webブラウザーで遠隔モニター・操作: 装置のEthernetポートに接続することで、PCやタブレットのブラウザーから、モニタリングが可能です。プログラムパターンの編集、運転パターンを選択、運転開始/終了することができます。
・E-mail通知: 万が一、装置の異常で警報が発生した場合、登録先にE-mailで警報内容を送信します。プログラム運転の終了も通知可能です

車載イーサネットパフォーマンステスター

メーカースパイレント コミュニケーションズ
型番(形式)Spirent Automotive C1
設置場所4号館827室
管理室未来情報通信センター
公開範囲学内外

IEEE 802.1AVB/TSNに対応した車載イーサネットパフォーマンステスターである。負荷試験による限界性能の評価や、パケットエラー率、伝送遅延、優先制御測定、時刻同期精度などの測定が可能である。

装置性能および仕様

インタフェース100BASE-T1×4ポート
遅延評価における時間分解能10ナノ秒以下 (ハードウェアタイムスタンプ)
対応プロトコルIEEE 802.3/Ethernet、IPv4/v6、TCP/UDP、IGMP、SIP、IGMPv1/v2/v3、MLDv1/v2、IEEE 1588v2、HTTP他
対応するIEEE 802.1AVB/TSN規格IEEE 802.1Q、IEEE 802.1AS、IEEE 802.1CB他
エミュレーション1ポートで複数のトーカノードまたはリスナノードをエミュレーション可能
試験設定統合的なGUI(Windows)による設定が可能