物理・表面計測系
電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JEM-2100F |
| 設置場所 | 22号館214室 |
| 管理室 | 透過型電子顕微鏡室II |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
本装置は2024年度内に廃棄予定です。他のTEM（JEM-2100Plus、JEM-z2500、JEM-2100、JEM-ARM200F）をご利用ください。
高輝度で高い干渉性、しかも高い安定度の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃(FEG)を搭載し、ナノスケールオーダの高分解能像観察やEDS、EELSでの分析ができます。また、走査透過型電子顕微鏡観察が可能で、分析機能と組み合わせることで、EDSマッピングやEELSマッピングができます。
装置性能および仕様
| 加速電圧 | 120 or 200 kV |
|---|---|
| 電子銃 | ショットキー型フィールドエミッション |
| 観察モード | 透過型電子顕微鏡（TEM）、走査透過型電子顕微鏡（STEM）、電子回折（ED） |
| 分析機能 | エネルギー分散型X線分光器（EDS）、電子エネルギー損失分光器（EELS） |
| 記録装置 | CCDカメラ①（サイドマウント）：主に中低倍および電子回折用 CCDカメラ②（ボトムマウント）：主に高分解能用 |
| 試料ホルダー | 一軸傾斜ホルダー、二軸傾斜ホルダー、分析用Be一軸傾斜ホルダー、加熱二軸傾斜ホルダー、液体窒素二軸傾斜冷却ホルダー、界面接合ホルダー |
分析対象
| 状態 | 無機物質 |
|---|---|
| 試料サイズ | 試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります |
| 分析不可 | 磁性体および有機物は応相談 |