物理・表面計測系

電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM)

jem2100f
メーカー日本電子
型番(形式)JEM-2100F
設置場所22号館214室
管理室透過型電子顕微鏡室II
公開範囲学内外
技術職員配置あり
学内利用機器分析受付システム

高輝度で高い干渉性、しかも高い安定度の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃(FEG)を搭載し、ナノスケールオーダの高分解能像観察やEDS、EELSでの分析ができます。また、走査透過型電子顕微鏡観察が可能で、分析機能と組み合わせることで、EDSマッピングやEELSマッピングができます。

装置性能および仕様

加速電圧120 or 200 kV
電子銃ショットキー型フィールドエミッション
観察モード透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)、電子回折(ED)
分析機能エネルギー分散型X線分光器(EDS)、電子エネルギー損失分光器(EELS)
記録装置CCDカメラ①(サイドマウント):主に中低倍および電子回折用
CCDカメラ②(ボトムマウント):主に高分解能用
試料ホルダー一軸傾斜ホルダー、二軸傾斜ホルダー、分析用Be一軸傾斜ホルダー、加熱二軸傾斜ホルダー、液体窒素二軸傾斜冷却ホルダー、界面接合ホルダー

分析対象

状態無機物質
試料サイズ試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります
分析不可磁性体および有機物は応相談

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