物理・表面計測系
走査電子顕微鏡
| メーカー | 日本電子株式会社 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-6010LA |
| 設置場所 | ２号館９階９０９Ａ室 |
| 管理室 | 透過型電子顕微鏡室III |
| 公開範囲 | 学内のみ |
多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。低真空モードにより絶縁物観察が前処理なしで行えます。
装置性能および仕様
| フィラメント | プリセンタードヘアピン型タングステン |
|---|---|
| 分解能 | 高真空モード 4 nm(20 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV) |
| 低真空モード 5 nm(20 kV) | |
| 倍率 | × 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて） |
| 画像モード | 二次電子像、反射電子像（組成像、凹凸像、立体像） |
| 低真空圧力 | 10 ～ 100 Pa |
| 加速電圧 | 0.5 kV ～ 20 kV（43段） |
| EDS機能 | スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析 元素マッピング、 プローブトラッキング |
分析対象
| 試料サイズ | 試料台：直径 10 mm，直径 32 mm |
|---|
分析対象不可
（１）毒物、危険物
（２）ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料
（３）強い磁化を持つ試料（磁性体については別途ご相談ください）
（４）前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料