物理・表面計測系
走査電子顕微鏡

メーカー | 日本電子株式会社 |
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型番(形式) | JSM-6010LA |
設置場所 | 2号館9階909A室 |
管理室 | 透過型電子顕微鏡室III |
公開範囲 | 学内のみ |
多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。低真空モードにより絶縁物観察が前処理なしで行えます。
装置性能および仕様
フィラメント | プリセンタードヘアピン型タングステン |
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分解能 | 高真空モード 4 nm(20 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV) |
低真空モード 5 nm(20 kV) | |
倍率 | × 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて) |
画像モード | 二次電子像、反射電子像(組成像、凹凸像、立体像) |
低真空圧力 | 10 ~ 100 Pa |
加速電圧 | 0.5 kV ~ 20 kV(43段) |
EDS機能 | スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析 元素マッピング、 プローブトラッキング |
分析対象
試料サイズ | 試料台:直径 10 mm,直径 32 mm |
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分析対象不可
(1)毒物、危険物
(2)ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料
(3)強い磁化を持つ試料(磁性体については別途ご相談ください)
(4)前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料