物理・表面計測系
走査プローブ顕微鏡
| メーカー | 日本電子株式会社 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSPM-5200 |
| 設置場所 | 22号館402室 |
| 管理室 | X線マイクロアナライザー室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
走査プローブ顕微鏡（SPM）はプローブ（探針）を試料に近づけて電子や原子間力を検出し、ナノスケールで構造を観察する顕微鏡である。金属、半導体、高分子材料、生体材料などの試料観察ができ、自動車産業、半導体産業、電子機器産業などに適用可能である。
装置性能および仕様
| 分解能 | 原子分解能(AFM, STM) 水平：0.1nm 垂直：0.01nm |
|---|---|
| 測定モード | コンタクトモードAFM、ACモードAFM、ノンコンタクトモードAFM、STM |
| 走査範囲 | X,Y : 0～20um Z : 0～3um |
分析対象
| 状態 | 固体 |
|---|---|
| 物質 | 金属、半導体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料 |
| 最大試料サイズ | 50mm×50mm×5 |
■分析不可
絶縁体(STM)
検索キーワード
学内利用方法および利用料金
ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表
学外利用方法および利用料金
ご相談、または受託試験を希望される学外の方は、学外利用案内をご覧下さい。