物理・表面計測系

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)

JXA-8230
メーカー日本電子
型番(形式)JXA-8230
設置場所2号館113B室
管理室軟X線分光室
公開範囲学内外

熱電子放出方式の電子線源のEPMA装置です。材料の定性・定量・線・面分析等ができます。表面から深さ2~3µmまでの平均的組成を精度よく分析できます。

装置性能および仕様

分析元素範囲WDS : B~U
EDS : B~U
X線分光範囲WDS分光範囲 : 0.087〜9.3nm,
EDSエネルギーレンジ : 20keV
X線分光器数WDS : 4基
EDS : 1基
加速電圧0.2~30kV
照射電流範囲10-12~10-5A
二次電子分解能5nm (WD:11 mm, 30 kV)
走査倍率× 40 ~ × 300,000 (WD:11 mm)

分析対象

状態固体
物質金属、半導体、鉱物、高分子、セラミックス
試料サイズホルダー1:100mmφ× 12mm以内
ホルダー2:35mmφ×20mm以内
ホルダー3:22mmφ×20mm以内
※試料固定の都合上、マッピング測定はホルダー2,3をおすすめします。
分析不可水分やガスを多く含むもの、磁性材料

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