物理・表面計測系
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JXA-8230 |
| 設置場所 | 2号館113B室 |
| 管理室 | FIB-SEM室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
熱電子放出方式の電子線源のEPMA装置です。材料の定性・定量・線・面分析等ができます。表面から深さ2～3µmまでの平均的組成を精度よく分析できます。
装置性能および仕様
| 分析元素範囲 | WDS : B~U EDS : B~U |
|---|---|
| X線分光範囲 | WDS分光範囲 : 0.087〜9.3nm, EDSエネルギーレンジ : 20keV |
| X線分光器数 | WDS : 4基 EDS : 1基 |
| 加速電圧 | 0.2~30kV |
| 照射電流範囲 | 10-12～10-5A |
| 二次電子分解能 | 5nm (WD:11 mm, 30 kV) |
| 走査倍率 | × 40 ～ × 300,000 (WD:11 mm) |
分析対象
| 状態 | 固体 |
|---|---|
| 物質 | 金属、半導体、鉱物、高分子、セラミックス |
| 試料サイズ | ホルダー1：100mmφ× 12mm以内 ホルダー2：35mmφ×20mm以内 ホルダー3：22mmφ×20mm以内 ※試料固定の都合上、マッピング測定はホルダー2,3をおすすめします。 |
| 分析不可 | 水分やガスを多く含むもの、磁性材料 |