新共用プロジェクト

X線光電子分光装置

109_M-probe
メーカーSurface Science Instrument
型番(形式)M-probe
設置場所セラ研A105室
管理室RCS-VII
公開範囲学内のみ

単色AlKα線を使用。Arスパッタリングによる深さ方向の分析が可能。

装置性能および仕様

分析範囲0~1000eV
分解能0.05eV

分析対象

状態固体
物質酸化物、金属
濃度元素添加量が1wt%以上が必要

測定原理

試料表面にX線を照射し、試料表面から放出される光電子の運動エネルギーを計測することで、試料表面を構成する元素の組成、化学結合状態を分析する手法。試料表面数nm以下に存在する元素の情報を得ることができる。

■分析不可

有機物

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