X線光電子分光分析装置

物理・表面計測系

細束軟Ｘ線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。

X線源	単色化Alアノード
スポットサイズ	10μm～100μm±10μm
検出器	静電半球型エネルギーアナライザーマルチチャンネルディテクター結合エネルギー分析範囲：0～1400eV Ag 3d5/2ピークの半値幅最少：0.5eV
帯電中和	低エネルギー電子とイオンの同時照射
スパッタイオン銃	アルゴンイオン、C60イオン
データ処理機能	[ ハードウェア ]　HP Elite 8300　Win7仕様 [ ソフトウェア ]　MultiPak　ピークの同定、定量分析、深さ方向分析、ピーク分離、その他グラフィックス等多数

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表

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