物理・表面計測系
X線光電子分光分析装置(XPS)

メーカー | アルバック・ファイ |
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型番(形式) | PHI5000 VersaProbe |
設置場所 | 22号館317室 |
管理室 | 光電子分光室 |
公開範囲 | 学内外 |
本設備は走査型デュアルX線光電子分光分析装置(PHI Quantes)の導入に伴い、定期メンテナンスを打ち切り、故障次第廃棄となります。
細束軟X線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。
装置性能および仕様
X線源 | 単色化Alアノード |
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スポットサイズ | 10μm~100μm±10μm |
検出器 | 静電半球型エネルギーアナライザーマルチチャンネルディテクター 結合エネルギー分析範囲:0~1400eV Ag 3d5/2ピークの半値幅最少:0.5eV |
帯電中和 | 低エネルギー電子とイオンの同時照射 |
スパッタイオン銃 | アルゴンイオン、C60イオン |
データ処理機能 | [ ハードウェア ] HP Elite 8300 Win7仕様 [ ソフトウェア ] MultiPak ピークの同定、定量分析、深さ方向分析、ピーク分離、その他グラフィックス等多数 |
分析対象
試料サイズ | 10mm×10mm 厚さ0.5mm程度 その他の形状は要相談 |
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状態 | 薄板状 |
物質 | 金属、半導体、セラミックス、無機材料、有機材料 |