物理・表面計測系

X線光電子分光分析装置(XPS)

メーカーアルバック・ファイ
型番(形式)PHI5000 VersaProbe
設置場所22号館317室
管理室光電子分光室
公開範囲学内外

細束軟X線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。

装置性能および仕様

X線源単色化Alアノード
スポットサイズ10μm~100μm±10μm
検出器静電半球型エネルギーアナライザーマルチチャンネルディテクター
結合エネルギー分析範囲:0~1400eV
Ag 3d5/2ピークの半値幅最少:0.5eV
帯電中和低エネルギー電子とイオンの同時照射
スパッタイオン銃アルゴンイオン、C60イオン
データ処理機能[ ハードウェア ] HP Elite 8300 Win7仕様
[ ソフトウェア ] MultiPak ピークの同定、定量分析、深さ方向分析、ピーク分離、その他グラフィックス等多数

分析対象

試料サイズ10mm×10mm
厚さ0.5mm程度
その他の形状は要相談
状態薄板状
物質金属、半導体、セラミックス、無機材料、有機材料

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