本設備は走査型デュアルX線光電子分光分析装置（PHI Quantes）の導入に伴い、定期メンテナンスを打ち切り、故障次第廃棄となります。

細束軟Ｘ線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。