FE-SEMセミナー
近年の高度な技術的課題や厳密な品質管理への迅速な取り組みにおいて、先端分析設備の果たす役割がますます重要になってきています。当設備共用部門では、先端分析設備の計画的な整備・更新を行うと共に、広く学内外の皆さまにご活用いただけるよう活動しております。
本講演会では、電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）について、株式会社日立ハイテク様から講師をお招きし、装置の特徴や新機能紹介をはじめ実際の測定事例についてご講演を頂く運びとなりました。また、セミナー後は本学の共用設備見学会を行います。お気軽にご参加ください。
皆さまの教育活動をはじめ、研究開発ならびに企業経営に当設備共用部門をご活用いただく契機として、本講演会へのご参加をお待ちしております。
プログラム
日 時：2025年9月26日（金） 13：30～15：00
場 所：名古屋工業大学22号館プレゼンテーションルーム（交通アクセス）
※Microsoft Teamsによるオンライン配信あり（簡易接続マニュアルpdf）
参加費：無料
13：00
開場
13：30 ～ 14：30 ※質疑応答込み
「新機能を搭載したFE-SEM(SU8700)による多様な材料解析事例のご紹介」
株式会社日立ハイテク 土谷 美樹 氏
（概要）
日立ハイテクの高分解能FE-SEM SU8700について，その特徴や新機能をご紹介します。SU8700はショットキーFE電子銃と磁界静電界複合レンズを有しており，極低加速電圧領域での観察や大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応可能な装置となっています。今回は信号検出系の特徴や電池や半導体，金属材料などの解析に寄与する新しい機能について，実際の解析事例を交えて解説いたします。また，自動観察機能についても概要や最新事例をご紹介します。
14：30～ 14：35
休憩
14：35 ～ 15：00
名古屋工業大学共用設備見学会
※見学希望の装置がありましたら下のフォームでリクエストください。可能な場合、見学に組み込ませて頂きます。
※現地参加の希望者のみ
お申し込み
※申し込み受け付けは終了いたしました。多数ご参加頂き誠にありがとうございました。
出席者：44名（企業：19名、他大学・研究機関：12名、名工大生：2名、教職員：11名；現地参加：14名、Web：30名）