分析装置・機器紹介
設備共用部門では物理・表面計測系、化学分析・生命科学系、サービス系、情報・通信系、新共用プロジェクトの５つを主体として、高信頼性かつ高精密な評価技術を有します。有機的に構築された高性能な計測分析機器を完備し、基礎から応用まで一貫した体制で依頼測定を行っています。これらの機器をご利用いただき学内および学外の皆様の研究開発にお役立てください。
※学内のみの表示となっている場合でも学外対応可能な場合がありますので、お問い合わせください。
※ナノテクプラットフォーム事業の装置リストはこちらから御覧ください。
装置一覧
■物理・表面計測系
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 透過型電子顕微鏡室Ｉ | 透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus | 22号館102室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-2100F | 22号館214室・学内外 |
| 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ | |
| ディンプルグラインダー Gatan / Model 656 | 22号館213室・学内外 | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅲ | 透過型電子顕微鏡(3D-TEM) 日本電子 / JEM-z2500 | 2号館122B室・学内外 |
| 局所熱分析装置 日本サーマル・コンサルティング / Nano-TA2，VESTA | 2号館909A室・学内外 | |
| ウルトラミクロトーム ライカマイクロシステムズ / Leica EM UC7, FC7 | 2号館909A室・学内外 | |
| 凍結試料作製装置 日本電子 / JFD-Ⅱ（EM-19500） | 2号館909A室・学内外 | |
| 透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-1400Plus | 2号館122B室・学内外 | |
| 真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T | 2号館909A室・学内のみ | |
| オートファインコーター 日本電子 / JEC-3000FC | 2号館909A室・学内のみ | |
| カーボン蒸着装置 日立 / HUS-5GB | 22号館401室・学内のみ | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅳ | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4500 | セラ研B棟117・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡 日本電子 / JEM-2100 | セラ研B棟122・学内外 | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅴ | 原子分解能分析電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-ARM200F | 2号館121B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| 電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8230 | 2号館113B室・学内外 | |
| 走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA | 2号館113B室・学内外 | |
| 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP | 2号館113B室・学内外 | |
| ワイヤーソー メイワフォーシス / DWS3500P | 2号館113B室・学内外 | |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |
| 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F | 22号館402室・学内外 | |
| 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 | |
| カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L | 22号館402室・学内外 | |
| 白金パラジウムコーター サンユー電子 / SC-701MC | 22号館401室・学内外 | |
| 走査電子顕微鏡室Ⅲ | 低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM) 日本電子 / JSM-7800F | 22号館409室・学内外 |
| オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A | 22号館409室・学内外 | |
| X線分析室 | 薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab | 22号館401室・学内外 |
| 粉末･多結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLabSE | 22号館401室・学内外 | |
| 表面粗さ計室 | 表面粗さ計 東京精密 / SURFCOM 1400G（高倍率） | 22号館222室・学内のみ |
| オージェ分析室 | 電界放出型オージェ電子分光装置(AES) 日本電子 / JAMP-9500F | 22号館410室・学内外 |
| 光電子分光室 | X線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe | 22号館317室・学内外 |
| 触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150 | 22号館317室・学内のみ | |
| 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes | 22号館159室・学内外 | |
| ２次イオン質量分析室 | 飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF | 22号館159室・学内外 |
| 電子顕微鏡試料作成室 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 日本電子 / JEM-9320FIB | 22号館414室・学内外 |
| 成膜室 | マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF | 22号館164室・学内のみ |
| 真空蒸着装置 アルバック / VTR-060M/ERH | 22号館164室・学内のみ | |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・学内のみ |
■化学分析・生命科学系
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 核磁気共鳴室 | 超伝導高分解能核磁気共鳴装置(NMR) JEOL RESONANCE / ECZ700R | 22号館160室・学内外 |
| 超伝導高分解能核磁気共鳴装置(NMR) Bruker / AV500 + CryoProbe | 22号館316室・学内外 | |
| 超伝導高分解能核磁気共鳴装置(NMR) Bruker / AV400N | 22号館311室・学内のみ | |
| 固体核磁気共鳴室 | 固体核磁気共鳴装置(NMR) JEOL RESONANCE / ECA600II | 22号館160室・学内外 |
| 質量分析室 | レーザーイオン化高分解能飛行時間型MS(MALDI-TOFMS) 日本電子 / JMS-S3000 | 22号館223室・学内外 |
| 液体クロマトグラフ高分解能飛行時間型MS(LC-TOFMS) Waters / Synapt G2 HDMS + Acquity | 22号館302室・学内外 | |
| ガスクロマトグラフ高分解能飛行時間型MS(GC-TOFMS) Waters / GCT-Premier | 22号館302室・学内外 | |
| 全自動元素分析装置 Elementar / vario EL cube | 22号館223室・学内外 | |
| 熱分析室 | 示差熱天秤(TG-DTA) リガク / TG8101D | 22号館314室・学内外 |
| 示差走査熱量計(DSC) リガク / DSC8230 | 22号館314室・学内外 | |
| 示差熱天秤(TG-DTA) リガク / TG8120 | 22号館314室・学内外 | |
| 示差走査熱量計(DSC) リガク / DSC8230 (EVO) | 22号館314室・学内外 | |
| 電子スピン共鳴室 | 電子スピン共鳴装置(ESR) 日本電子 / JES-FA200 | 22号館306室・学内外 |
| 電子スピン共鳴装置(ESR) 日本電子 / JES-RE1X | 22号館306室・学内外 | |
| 赤外ラマン分光室 | フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR) 日本分光 / FT/IR-6300， IRT-5000 | 22号館310室・学内外 |
| レーザーラマン分光装置 日本分光 / NRS-3300 | 22号館310室・学内外 | |
| 物質ダイナミックス解析室 | 粘弾性測定装置(DMA) SIIナノテクノロジー / DMS6100 | 22号館413室・学内外 |
| 熱機械分析装置(TMA) SIIナノテクノロジー / TMA/SS7100C | 22号館413室・学内外 | |
| ダイナミックDSC装置 パーキンエルマー / DSC8000 | 22号館413室・学内外 | |
| パルスNMR分光計 ブルカー・バイオスピン / ミニスペックmq | 22号館413室・学内外 | |
| 応力制御式レオメーター Anton Paar AG / MCR-302 | 22号館413室・学内外 | |
| RI実験室 | 放射能測定システム（γ線検出器） アロカ / ARC-380 | 高レベル実験室・学内のみ |
| 放射能検出分析システム CANBERRA / InSpector 2000 | 高レベル実験室・学内のみ | |
| 液体シンチレーションカウンター Beckman / LS-6000SE | 低レベル実験室・学内のみ | |
| 生命科学実験室 | 超高感度等温滴定型熱量計 Malvern / MicroCal iTC200 | 22号館109室・学内のみ |
| 生体物質構造分光解析室 | 3次元顕微蛍光寿命イメージング装置 東京インスツルメンツ / NF-3DFLIM-N03 | 22号館156室・学内外 |
| 単結晶X線構造解析装置(XRD) リガク / VariMax with RAPID | 22号館156室・学内外 | |
| ICP室 | ICP発光分光分析装置 島津製作所 / ICPE-9000 | 22号館317室・学内外 |
| 時間分解赤外分光室 | 時間分解赤外分光装置 Bruker / VERTEX80+HYPERION3000 | 22号館 217室・学内外 |
■サービス系
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 共同工作室（ガラス工作室） | ||
| 低温室 | 超高感度磁化率測定装置(SQUID) QUANTUM DESIGN / MPMS | 54号館・学内外 |
| 物理特性測定装置 QUANTUM DESIGN / PPMS | 54号館・学内外 | |
| 無響室 | ||
| 電波暗室 |
■情報・通信系
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 未来通信研究センター | 車載イーサネットパフォーマンステスター スパイレント コミュニケーションズ / Spirent Automotive C1 | 4号館827室・学内外 |
| EMIレシーバー キーサイト・テクノロジー / N9048B PXE | 6号館813室・学内外 | |
| ネットワークアナライザ キーサイト・テクノロジー / E5080B, 外 | 4号館827室・学内外 | |
| 光・電気通信波形解析システム キーサイト・テクノロジー / N4377A, 外 | 4号館827室・学内外 | |
| 電気車載イーサネット評価システム キーサイト・テクノロジー / DSO404SA, 外 | 4号館827室・学内外 | |
| 通信性能評価汎用機器 キーサイト・テクノロジー / 53210A, 外 | 4号館827室・学内外 | |
| 小型環境試験器 エスペック / SH-642 | 4号館827室・学内外 |
■新共用プロジェクト
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| RCS-I | 顕微蛍光X線分析装置 堀場製作所 / XGT7200V | 1号館122B室・学内のみ |
| 白色共焦点顕微鏡 レーザーテック / OPTELICS HYBRID C3 | 1号館122B室・学内のみ | |
| 高周波真空溶解装置 富士電波工業 / FMV-1 | 1号館124B室・学内のみ | |
| 真空アーク溶解炉 大亜真空 / ACM-S01 | 1号館124B室・学内のみ | |
| 日立ハイテクS3400／堀場製作所分析装置 日立ハイテクノロジーズ、堀場製作所 / TEC-LaB6-D | 1号館723B室・学内のみ | |
| 読取り機能一体型ラウエカメラシステム X線サイエンス / IPラウエカメラ | 1号館122B室・学内のみ | |
| RCS-II | 中規模並列計算機（新型） ビジュアルテクノロジ / VT64F | 2号館311B室・学内のみ |
| 小規模並列計算機 コンカレントシステムズ / CFS3U-Xe34 | 2号館311B室・学内のみ | |
| RCS-III | レーザーアブレーション成膜装置 パスカル株式会社 他 / 特注仕様 | 2号館601B室・学内のみ |
| 真空蒸着装置 株式会社アルバック 他 / 特注仕様 | 2号館601B室・学内のみ | |
| STM搭載RHEED装置 - / - | 2号館601B室・学外のみ | |
| RHEED／LEED装置 - / - | 2号館605B室・学外のみ | |
| RCS-IV | レーザーラマン分光光度計 日本分光株式会社 / RMP510-S | 11号館307室・学内のみ |
| 分光光度計 日本分光株式会社 / V-670K | 11号館307室・学内のみ | |
| 抵抗率／シート抵抗測定器 ナプソン株式会社 / RT-70V/RG-7C | 11号館307室・学内のみ | |
| X線回折装置 株式会社リガク / UltimaⅣ-285FX | 11号館607室・学内のみ | |
| RCS-V | ラマン分光－原子間力顕微鏡 Renishaw / Raman-SPM/AFM | 2号館1012B室・学内のみ |
| 絶対分子量測定装置 Waters / 液体クロマトグラフ質量分析計 ACQUITY | 2号館102A室・学内外 | |
| 共焦点レーザー顕微鏡 CarlZeiss / LSM880 | 2号館1012B室・学内のみ | |
| 走査型電子顕微鏡 日本電子株式会社 / JSM-6010LA | 2号館1014B室・学内のみ | |
| グロー放電発光表面分析装置 堀場製作所 / GD-Profiler2-MN | 2号館1014B室・学内外 | |
| 酸素・窒素・水素分析装置 堀場製作所 / EMGA-930 | 2号館1014B室・学内外 | |
| ICP発光分析装置 島津製作所 / ICPS-7510 | 2号館1014B室・学内のみ | |
| 炭素・硫黄分析装置 LECO / CS844 | 2号館1014B室・学内外 | |
| ガスクロマトグラフ質量分析計 日本電子株式会社 / JMS-Q1500GC | 2号館1014B室・学内のみ | |
| 核磁気共鳴装置 Bruker / AVANCEⅢ HD400SJ | 2号館102A室・学内のみ | |
| RCS-VI | 分光光度計 島津製作所 / UV3600 | 19号館603室・学内のみ |
| 分光光度計 島津製作所 / SolidSpec-3700 | 19号館603室・学内のみ | |
| 円二色性分散計 日本分光 / J-820 | 19号館603室・学内のみ | |
| ゼータ電位・粒子径測定装置 Malvern / ゼーターサイザーZS | 19号館314室・学内外 | |
| 液体クロマトグラフ質量分析計 島津製作所 / LCMS-2020 | 19号館240室・学内のみ | |
| 液体クロマトグラフ質量分析計 島津製作所 / LCMS-2020 | 19号館619室・学内のみ | |
| 300MHz 核磁気共鳴装置 バリアン / PFG524N | 19号館621室・学内のみ | |
| 高感度近赤外型絶対PL量子収率測定装置 浜松ホトニクス / C13534-23 | 19号館603室・学内のみ | |
| ナノ秒時間分解分光測定装置 ユニソク / TSP-2000 | 19号館603室・学内のみ | |
| RCS-VII | ICP発光分析装置 日立ハイテクサイエンス / SPS7800 | セラ研駅前・学内のみ |
| X線光電子分光装置 Surface Science Instrument / M-probe | セラ研A105室・学内のみ | |
| 粉末X線回折装置 リガク / RINT1000 | セラ研B102室・学内のみ | |
| RCS-VIII | 磁界-磁化アナライザ 岩通計測 / SY-8218他 | 16号館105室・学内外 |
| 多光子励起レーザ走査型顕微鏡 オリンパス / FV1200MPE-M-MKM | 3号館126室・学内のみ | |
| ホール効果測定システム Ecopia社 / HMS-3000 | 11号館509室・学内のみ | |
| X線CT装置(100kV) 島津製作所 / inspeXio SMX-100CT | 3号館126室・学内外 | |
| X線CT装置(225kV) 島津製作所 / inspeXio SMX-225CT | 3号館126室・学内外 | |
| RCS-IX | 動的データ計測システム 東京測器研究所 / DRA-30A | 25号館1階・学内のみ |
| 恒温恒湿室一式（人工気候室）付属測定装置一式を含む ㈱大西熱学 / | 11号館401室・学内のみ |
※学内のみの表示となっている場合でも学外対応可能な場合がありますので、お問い合わせください。