FIB-SEM室
FIB-SEMを中心として、その前観察装置や試料加工装置を整備しています。
分析装置・機器リスト
機器名 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) メーカー 日本電子 型番(形式) JIB-4700F 設置場所 2号館113B室 公開範囲 学内外
機器名 走査電子顕微鏡(W-SEM) メーカー 日本電子 型番(形式) JSM-IT200LA 設置場所 2号館113B室 公開範囲 学内外
機器名 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) メーカー 日本電子 型番(形式) IB19520CCP 設置場所 2号館113B室 公開範囲 学内外
機器名 ワイヤーソー メーカー メイワフォーシス 型番(形式) DWS3500P 設置場所 2号館113B室 公開範囲 学内外
