物理・表面計測系
マイクロマニピュレーター
| メーカー | マイクロサポート |
|---|---|
| 型番(形式) | AxisPro FC メーカーHP |
| 設置場所 | 22号館259室 |
| 管理室 | FIB-SEM室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
TEM観察用にFIB加工した薄片をピックアップし、TEMグリッドに移し替えるためのマイクロスコープ一体型の電動マイクロマニピュレーターシステムです。
装置性能および仕様
| マイクロスコープ倍率 | 光学倍率：4.5～50× モニター総合倍率：約240～2600× |
|---|---|
| マニピュレーター （右アーム） | ストローク：X：20mm、Y：20mm、Z：29mm 分解能：各軸共0.1μm |
| 試料ステージ | ストローク：X：100mm，Y：50mm、Z：70mm 分解能：Z：0.1μm |
| ソフトウェア機能 | マウスコントロール・数値入力による駆動軸の操作、ポジション記憶、画像保存、動画保存、2点間計測機能、円直径計測機能、簡易深さ方向計測 |