測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
X線マイクロアナライザー室 白金パラジウムコーター
サンユー電子 / SC-701MC
22号館401室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ カーボン蒸着装置
日立 / HUS-5GB
22号館401室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅱ ディンプルグラインダー
Gatan / Model 656
22号館213室・学内外
FIB-SEM室 ワイヤーソー
メイワフォーシス / DWS3500P
2号館113B室・学内外
FIB-SEM室 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP)
日本電子 / IB19520CCP
2号館113B室・学内外
FIB-SEM室 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
日本電子 / JIB-4700F
2号館113B室・学内外
X線マイクロアナライザー室 カーボンコーター
メイワフォーシス / CADE/L
22号館402室・学内外
成膜室 イオンビームスパッタリング装置
日本真空技術社 / IBS-2000BK
22号館164室・学内のみ
電子顕微鏡試料作成室 集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
日本電子 / JEM-9320FIB
22号館414室・学内外
X線マイクロアナライザー室 断面試料作製装置
日本電子 / IB09020
22号館401室・学内外