測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
X線マイクロアナライザー室	白金パラジウムコーター サンユー電子 / SC-701MC	22号館401室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	カーボン蒸着装置 日立 / HUS-5GB	22号館401室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	ディンプルグラインダー Gatan / Model 656	22号館213室・学内外
FIB-SEM室	ワイヤーソー メイワフォーシス / DWS3500P	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T	2号館909A室・学内のみ
成膜室	イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK	22号館164室・学内のみ