物理・表面計測系

カーボンコーター

メーカーメイワフォーシス
型番(形式)CADE/L
設置場所22号館402室
管理室X線マイクロアナライザー室
公開範囲学内外

非導電性材にカーボンコートすることでチャージアップを防ぐことができます。
真空引きからコーティング終了まで約5分で行えます。
蒸着源は超高純度(99.995%)カーボンファイバーでSEM観察、EDS分析などの前処理に適しています。真空度や試料ステージの距離で膜厚のコントロールが行えます。

装置性能および仕様

試料ステージ寸法φ80㎜
蒸着源特殊処理高純度炭素ファイバー
膜厚20nm~1nm(4Paで蒸着時)
蒸着源からの距離40㎜~140㎜

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