測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
FIB-SEM室 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
日本電子 / JIB-4700F
2号館113B室・学内外
光電子分光室 触針式膜厚計
ULVAC / Dektak150
22号館317室・学内のみ
RCS-III STM搭載RHEED装置
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2号館601B室・学外のみ
X線マイクロアナライザー室 カーボンコーター
メイワフォーシス / CADE/L
22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ オスミウム・プラズマコーター
フィルジェン / OPC60A
22号館409室・学内外
表面粗さ計室 表面粗さ計
東京精密 / SURFCOM 1400G(高倍率)
22号館222室・学内のみ
X線マイクロアナライザー室 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
日本電子 / JSM-7001F
22号館402室・学内外