物理・表面計測系

表面粗さ計

 

メーカー東京精密
型番(形式)SURFCOM 1400G(高倍率)
設置場所22号館222号室
管理室表面粗さ計室
公開範囲学内のみ

触針を試料表面に落とし横方向に移動させ、試料表面の形状にそった触針の上下動を増幅することで、形状プロファイルが得られる。

装置性能および仕様

縦方向分解能0.1nm
触針測定力0.2mN
出力CSV

分析対象

状態基板上の堆積膜など多様な試料に対応可能。

■分析不可

柔らかい・脆い試料は、触針で破壊され測定できないことがある。

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