表面粗さ計室

触針を試料表面に落とし横方向に移動させ、試料表面の形状にそった触針の上下動を増幅することで、形状プロファイルが得られる。

分析装置・機器リスト

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  機器名	表面粗さ計
  メーカー	東京精密
  型番(形式)	SURFCOM 1400G(高倍率)
  設置場所	22号館222号室
  公開範囲	学内のみ