測定室(管理室) 装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
透過型電子顕微鏡室I 透過型電子顕微鏡
日本電子 / JEM-2100Plus
22号館102室・学内外
X線マイクロアナライザー室 カーボンコーター
メイワフォーシス株式会社 / CADE/L
22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ オスミウム・プラズマコーター
フィルジェン株式会社 / OPC60A
22号館409室・学内外
X線分析室 粉末・多結晶用X線回折装置
リガク / SmartLabSE
22号館401室・学内外
表面粗さ計室 表面粗さ計
東京精密 / SURFCOM 1400G(高倍率)
22号館222室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅲ オートファインコーター
日本電子 / JEC-3000FC
2号館909A室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅲ 真空蒸着装置
日本電子 / JEE-420T
2号館909A室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅲ 走査電子顕微鏡
日本電子 / JSM-6010LA
2号館909A室・学内のみ
成膜室 真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH
22号館164室・学内のみ
成膜室 マグネトロンスパッタリング装置
アルバック / VTR-151M/SRF
22号館164室・学内のみ