光電子分光室

測定原理

測定原理

本装置は細束軟X線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。 上図は本装置の概念図である。

分析装置・機器リスト

  • X線光電子分光分析装置
    機器名X線光電子分光分析装置
    メーカー アルバック・ファイ
    型番(形式) PHI5000 VersaProbe
    設置場所 22号館317室
    公開範囲 学内外
  • 機器名触針式膜厚計
    メーカーULVAC
    型番(形式)Dektak150
    設置場所 22号館317室
    公開範囲 学内