光電子分光室
測定原理
本装置は細束軟Ｘ線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。 上図は本装置の概念図である。
分析装置・機器リスト
機器名 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) メーカー アルバック・ファイ 型番(形式) PHI Quantes 設置場所 22号館159室 公開範囲 学内外
機器名 X線光電子分光分析装置 メーカー アルバック・ファイ 型番(形式) PHI5000 VersaProbe 設置場所 22号館317室 公開範囲 学内外
機器名 触針式膜厚計 メーカー ULVAC 型番(形式) Dektak150 設置場所 22号館317室 公開範囲 学内
