物理・表面計測系
触針式膜厚計
| メーカー | ULVAC |
|---|---|
| 型番(形式) | Dektak150 |
| 設置場所 | 22号館259室 |
| 管理室 | 光電子分光室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
試料表面に触針を接触させ、試料台を直線的に走査させます。触針が試料の凹凸形状に追従することで、表面形状を測定することができます。
触針圧を1mgまで制御できることで柔らかい材料の測定ができます。
装置性能および仕様
| 垂直表示レンジ | 6.5μm～524μm |
|---|---|
| 垂直分解能/測定レンジ | （最高）0.1nm/6.5μm |
| 測定距離 | 50μm～55mm |
| 触針圧 | 1～15mg |
| 触針半径 | 12.5μm |
分析対象
| 分析不可 | 脆い試料（有機膜など）は触針で破壊され測定できないことがあります |
|---|---|
| 状態 | 半導体基板、電子部品基板の膜厚・段差・形状測定 |