物理・表面計測系

触針式膜厚計

メーカーULVAC
型番(形式)Dektak150
設置場所22号館317室
管理室光電子分光室
公開範囲学内のみ

試料表面に触針を接触させ、試料台を直線的に走査させます。触針が試料の凹凸形状に追従することで、表面形状を測定することができます。
触針圧を1mgまで制御できることで柔らかい材料の測定ができます。

装置性能および仕様

垂直表示レンジ6.5μm~524μm
垂直分解能/測定レンジ(最高)0.1nm/6.5μm
測定距離50μm~55mm
触針圧1~15mg
触針半径12.5μm

分析対象

分析不可脆い試料(有機膜など)は触針で破壊され測定できないことがあります
状態半導体基板、電子部品基板の膜厚・段差・形状測定

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