測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
光電子分光室 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS)
アルバック・ファイ / PHI Quantes
22号館159室・学内外
光電子分光室 触針式膜厚計
ULVAC / Dektak150
22号館317室・学内のみ
RCS-VII X線光電子分光装置
Surface Science Instrument / M-probe
セラ研A105室・学内のみ
光電子分光室 X線光電子分光分析装置(XPS)
アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe
22号館317室・学内外