| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 光電子分光室 | 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes | 22号館159室・学内外 |
| 光電子分光室 | 触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150 | 22号館317室・学内外 |
| RCS-VII | X線光電子分光装置 Surface Science Instrument / M-probe | セラ研A105室・学内のみ |
| X線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe | 22号館317室・学内外 |