物理・表面計測系

走査型プローブ顕微鏡(SPM)

メーカー島津製作所
型番(形式)SPM-9700
設置場所22号館222室
管理室表面粗さ計室
公開範囲学内外
技術職員配置なし
学内利用機器分析受付システム
マニュアル
(学内のみ)
ハードウェア(JP)(EN)
ソフトウェア(JP)(EN)
観察ガイド(JP)(EN)
その他資料

試料表面を微小なプローブ(探針)で走査し、試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡です。

装置性能および仕様

観察モードコンタクトモード、ダイナミックモード、位相モード、水平力モード、フォースモジュレーションモード
分解能XY:0.2 nm、Z:0.01 nm
最大走査範囲30 μm□ x 8 μm

分析対象

試料最大形状φ24 mm x 8 mm
状態薄板状

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