透過型電子顕微鏡室Ⅱ
本測定室では透過型電子顕微鏡室Iよりも高空間分解能を必要とする微細構造の観察、 解析を行っています。対象となる材料はセラミックス、金属、半導体、ナノ材料、ソフトマテリアル、生体材料など多岐にわたります。観察、解析手法としては電子回折、明視野法、暗視野法、高分解能電子顕微鏡 (TEM)法、走査透過電子顕微鏡(STEM)観察、エネルギ―分散型X線分光(EDS)分析などが可能です。前処理装置としては無機材料のポリシングシステム等を整備しています。有機材料の前処理は透過型電子顕微鏡室Ⅲで対応可能です。
分析装置・機器リスト
機器名 電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM) メーカー 日本電子株式会社 型番(形式) JEM-F200 設置場所 22号館155室 公開範囲 学内外 機器名 精密イオンポリシングシステム メーカー Gatan 型番(形式) PIPS2 Mode l695 設置場所 22号館213室 公開範囲 学内のみ 機器名 ディンプルグラインダー メーカー Gatan 型番(形式) Model 656 設置場所 22号館213室 公開範囲 学内のみ 機器名 マルチ成膜装置 メーカー 真空デバイス 型番(形式) VES-30T 設置場所 22号館213室 公開範囲 学内のみ