物理・表面計測系

白金パラジウムコーター

メーカーサンユー電子
型番(形式)SC-701MC
設置場所22号館401室
管理室X線マイクロアナライザー室
公開範囲学内外

白金パラジウムコーターとして利用しています。

装置性能および仕様

蒸着源Pt-Pd
膜厚制御方法デジタル膜厚表示
膜厚範囲1nm~99nm
最大試料サイズ50㎜×50㎜×20㎜まで

 

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