物理・表面計測系

走査電子顕微鏡(W-SEM)

メーカー日本電子
型番(形式)JSM-IT200LA
製品カタログ(学内アクセスのみ)
設置場所2号館113B室
管理室FIB-SEM室
公開範囲学内外
学内利用機器分析受付システム

多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。低真空モードにより絶縁物観察が前処理なしで行えます。

装置性能および仕様

電子銃Wフィラメント(完全自動ガンアライメント)
分解能高真空モード 3 nm(30 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV)
低真空モード 4 nm(30 kV BED)
倍率× 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて)
画像モード二次電子像、反射電子像(組成像、凹凸像、立体像)
低真空圧力10 ~ 100 Pa
加速電圧0.5 kV  ~  30 kV
EDS機能スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析   元素マッピング、
プローブトラッキング
遠隔観察Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能

分析対象

試料サイズ試料台:直径 10 mm,直径 32 mm
高さ:30 mmまで
分析不可(1)毒物、危険物
(2)ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料
(3)強い磁化を持つ試料(磁性体については別途ご相談ください)
(4)前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料

 

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