| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 光電子分光室 | 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes | 22号館159室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA | 2号館113B室・学内外 |
| オージェ分析室 | 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F | 22号館410室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F | 22号館402室・学内外 |