測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
光電子分光室 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS)
アルバック・ファイ / PHI Quantes
22号館159室・学内外
FIB-SEM室 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
日本電子 / JIB-4700F
2号館113B室・学内外
光電子分光室 X線光電子分光分析装置(XPS)
アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe
22号館317室・学内外
オージェ分析室 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES)
日本電子 / JAMP-9500F
22号館410室・学内外
X線マイクロアナライザー室 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
日本電子 / JSM-7001F
22号館402室・学内外