物理・表面計測系

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電解放出型走査電子顕微鏡
メーカー日本電子
型番(形式)JSM-7001F
設置場所22号館402室
管理室X線マイクロアナライザー室
公開範囲学内外
技術職員配置あり
学内利用機器分析受付システム

JSM-7001Fは、EDSおよびEBSD検出器付きのショットキー電界放出形走査顕微鏡です。SEMによる形態観察の他、オプションでEDSによる元素分析やEBSDによる結晶方位解析・結晶粒径評価等を行うことができます。また、対物レンズはアウトレンズ型でレンズ磁場の影響を全く受けないため、磁性材料の観察や分析も可能です。

装置性能および仕様

分解能1.2nm (30kV)
3.0nm (1kV)
倍率x10~x1,000,000
加速電圧0.5~30kV
照射電流~200nA
付属装置エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
結晶方位解析装置(EBSD)
遠隔観察Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能

結晶方位解析装置(EBSD)

検出器EDAX(TSL)製,ORION
最大速度1000 point/s
データ取得ソフトTEAM

分析対象

状態固体
物質金属、半導体、磁性体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料
最大試料サイズ直径32mm 高さ20mm
分析不可水分やガスを多く含むもの、腐食性や毒性があるもの

測定例

EBSDによる鉄合金(FCC構造)の結晶方位解析

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