物理・表面計測系
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-7001F |
| 設置場所 | 22号館402室 |
| 管理室 | X線マイクロアナライザー室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）は電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料を観察する。これによって試料の表面観察、定量分析、定性分析、線分析、面分析、相分析ができる。FE-SEMでは固体であれば、金属、半導体、セラミックス、鉱物、生体材料などほとんどの試料の観察ができる。自動車産業分野、半導体産業、電子機器産業、航空宇宙産業などに適用可能である。
装置性能および仕様
| 分解能 | 1.2nm (30kV) 3.0nm (1kV) |
|---|---|
| 倍率 | x10～x1,000,000 |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 照射電流 | ～200nA |
| 付属装置 | エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 結晶方位解析装置(EBSD) |
| 遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
■結晶方位解析装置(EBSD)
| 検出器 | EDAX(TSL)製，ORION |
|---|---|
| 最大速度 | 1000 point/s |
| データ取得ソフト | TEAM |
分析対象
| 状態 | 固体 |
|---|---|
| 物質 | 金属、半導体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料 |
| 最大試料サイズ | 直径32mm 高さ20mm |
| 分析不可 | 水分やガスを多く含むもの、磁性材料 |
測定例
EBSDによるアルミニウム箔の結晶方位マッピング
