物理・表面計測系

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電解放出型走査電子顕微鏡
メーカー日本電子
型番(形式)JSM-7001F
設置場所22号館402室
管理室X線マイクロアナライザー室
公開範囲学内外

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)は電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料を観察する。これによって試料の表面観察、定量分析、定性分析、線分析、面分析、相分析ができる。FE-SEMでは固体であれば、金属、半導体、セラミックス、鉱物、生体材料などほとんどの試料の観察ができる。自動車産業分野、半導体産業、電子機器産業、航空宇宙産業などに適用可能である。

装置性能および仕様

分解能1.2nm (30kV)
3.0nm (1kV)
倍率x10~x1,000,000
加速電圧0.5~30kV
照射電流~200nA
付属装置エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
結晶方位解析装置(EBSD)
遠隔観察Web会議システムによる立ち会い測定が可能

分析対象

状態固体
物質金属、半導体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料
最大試料サイズ直径32mm 高さ20mm
分析不可水分やガスを多く含むもの、磁性材料

測定例

EBSDによるアルミニウム箔の結晶方位マッピング

EBSD

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