電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）は電子線を試料表面に照射し、跳ね返ってきた電子を検出して試料を観察する。これによって試料の表面観察、定量分析、定性分析、線分析、面分析、相分析ができる。FE-SEMでは固体であれば、金属、半導体、セラミックス、鉱物、生体材料などほとんどの試料の観察ができる。自動車産業分野、半導体産業、電子機器産業、航空宇宙産業などに適用可能である。