オージェマイクロプローブは、試料に電子線を照射し、試料から発生するオージェ電子のエネルギーを測定することで、表面から数 nm の深さの組成およびその化学状態を分析する表面分析装置です。オージェマイクロプローブの分析領域は、電子線のプローブ径で決まるため、高い空間分解能が得られるのが特徴です。近年、より微小な領域を分析するために、ショットキー型フィールドエミッション電子銃（FEG）を搭載した装置が主流となっています。JAMP-9500F は、 ショットキー型の FEG と独自の電子光学系により大電流で高空間分解能を実現したフィールドエミッションオージェマイクロプローブです。エネルギーアナライザには、静電半球型アナライザを用い、マルチチャンネル多重検出器とオージェ分析用に最適化した入射レンズにより、高感度 ・ 高エネルギー分解能のスペクトルが得られます。また、従来、分析が困難であった絶縁物の分析に対しても、中和銃を使って帯電を中和することで分析することができます。