物理・表面計測系

複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)

メーカー日本電子
型番(形式)JIB-4700F
設置場所2号館113B室
管理室FIB-SEM室
公開範囲学内外

FIB機能とSEM機能を同時に備えた複合ビーム加工観察装置です。SEM観察やFIB加工(断面加工・TEM試料作製)だけでなく、以下の機能を備えております。
・3D-SEM
・3D-EDS
・3D-EBSD
・OmniProbe(TEM試料 試料室内ピックアップシステム)
・STEM
・大気非曝露機構

装置性能および仕様

FIB(集束イオンビーム)

加速電圧1~30 kV
倍率×50~×1,000,000
像分解能4nm (30kV時)
ビーム電流1pA ~90nA、13段階
加工形状矩形、線、点、円、ビットマップ

SEM(電子ビーム)

加速電圧0.1~30 kV
倍率×10 ~ 1,000,000 (LDFモード搭載)
像分解能1.2 nm (15 kV, GBモード) 、1.6 nm (1 kV, GBモード)
ビーム電流1pA ~300nA

試料ステージ

ゴニオメータステージX:76mm、Y:76mm、Z:5~48mm T:-10~90°、R:360°

分析対象

状態固体
非導電性試料は事前に金属やカーボンによる蒸着の必要あり

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