測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
FIB-SEM室 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
日本電子 / JIB-4700F
2号館113B室・学内外
2次イオン質量分析室 飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF
22号館159室・学内外
光電子分光室 X線光電子分光分析装置(XPS)
アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe
22号館317室・学内外