物理・表面計測系

飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)

phitriftv
メーカーアルバック・ファイ
型番(形式)PHI TRIFTV nanoTOF
設置場所22号館159室
管理室2次イオン質量分析室
公開範囲学内外

飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)では、表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。Arクラスタービームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。例えば、Liイオン電池の表面近傍のLiや他の不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。

装置性能および仕様

1次イオン銃Bi32+
スパッタ銃Arガスクラスター銃(GCIB):有機物用
Csイオン銃
Ar/酸素ガスイオン銃
質量分析飛行時間型質量分析計
質量分解能無機材料:9000M/Δm以上
有機材料(PET):9000M/Δm以上
試料導入トランスファーベッセルの使用可

分析対象

試料サイズ10mm×10mm程度
(その他のサイズも可能.要相談)
状態ウェハ状,パウダー状

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