物理・表面計測系
飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
| メーカー | アルバック・ファイ |
|---|---|
| 型番(形式) | PHI TRIFTV nanoTOF |
| 設置場所 | 22号館159室 |
| 管理室 | 2次イオン質量分析室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
| マニュアル | 測定編、解析編(学内アクセスのみ) |
飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)では、表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。Arクラスタービームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。例えば、Liイオン電池の表面近傍のLiや他の不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。
装置性能および仕様
| 1次イオン銃 | Bi32+ |
|---|---|
| スパッタ銃 | Arガスクラスター銃(GCIB)：有機物用 Ar/酸素ガスイオン銃 |
| 質量分析 | 飛行時間型質量分析計 |
| 質量分解能 | 無機材料：9000M/Δm以上 有機材料(PET)：9000M/Δm以上 |
| 大気非曝露 | トランスファーベッセル |
分析対象
| 試料サイズ | 10mm×10mm程度 （その他のサイズも可能．要相談） |
|---|---|
| 状態 | ウェハ状，パウダー状（真空引きした際に舞いにくいもの） |
| 真空 | 樹脂などデガスがある試料は事前に10-5 Torrに到達するまで真空引きが必要 |
| その他 | JISK0154：表面化学分析－分析試料の準備及び取付けに関する指針を参考に試料をご準備ください |