物理・表面計測系
電界放出型電子プローブマイクロアナライザ
| メーカー | 日本電子株式会社 |
|---|---|
| 型番(形式) | JXA-8530F |
| 設置場所 | 22号館402室 |
| 管理室 | X線マイクロアナライザー室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
電子プローブマイクロアナライザー（FE-EPMA）は固体表面に電子線を照射し、二次電子や反射電子などによる像観察と同時に、試料から発生する特性X線を検出して、構成元素とその量を測定することができる。金属、半導体、セラミックス、鉱物などの定量分析、定性分析、さらに線分析、面分析、相分析ができる。自動車産業、半導体産業、高分子・金属材料産業、電子機器産業などに適用可能である。
装置性能および仕様
| 分析元素範囲 | WDS : Be~U EDS : B~U |
|---|---|
| X線分光範囲 | WDS分光範囲 : 0.087〜9.3nm, EDSエネルギーレンジ : 20keV |
| X線分光器数 | WDS : 3基 EDS : 2基 |
| 加速電圧 | 1~30kV |
| 照射電流範囲 | 10-12～ 5×10-7A |
| 二次電子分解能 | 3 nm (WD:11 mm, 30 kV) |
| 分析条件最小プローブ径 | 40 nm (10 kV, 1×10-8 A) 100 nm (10 kV, 1×10-7 A) |
| 走査倍率 | × 40 ～ × 300,000 (W D:11 mm) |
| 遠隔観察 | Web会議システムによる立ち会い測定が可能 |
分析対象
| 状態 | 固体 |
|---|---|
| 物質 | 金属、半導体、鉱物、高分子、セラミックス |
| 試料サイズ | 通常：30 mmφ × 20 mm以内 最大：100 mm × 100 mm × 50 mm（高さ調整機構が必要） |
測定例
岩石（エクロジャイト）の元素マッピング
■分析不可
水分やガスを多く含むもの、磁性材料
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学内利用方法および利用料金
ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表
学外利用方法および利用料金
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