SEMやEPMAでの観察・分析の前処理として最適な装置です。
試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事ができます（-120～０℃まで調整可能）。また、加工の様子をモニターで確認できるため、従来多かった削り残し・削りすぎなどの失敗を防げます。さらに、大気非曝露機構がついているため、加工から観察までを大気非曝露環境下で行うことが可能です。