測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
FIB-SEM室	冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP	2号館113B室・学内外
成膜室	イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK	22号館164室・学内のみ
X線マイクロアナライザー室	断面試料作製装置 日本電子 / IB09020	22号館401室・学内外