断面試料作製装置

物理・表面計測系

アルゴンイオンビームを試料に照射し、試料原子が弾き出されるスパッタリング現象を利用して試料を削る方法です。従来の機械研磨では困難な材料の断面作製に適しています。

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表

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