新共用プロジェクト

白色共焦点顕微鏡

optelics_h_c3
メーカーレーザーテック
型番(形式)OPTELICS HYBRID C3
設置場所1号館122B室
管理室RCS-I
公開範囲学内のみ

キセノン光源白色光(RGB分離)を使用。
高速サンプルレートが可能。
反射分光測定による1μm〜nmの膜厚測定
高温環境下での表面形状測定

装置性能および仕様

装置性能および仕様白色光源および6波長選択機能
高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定(JI S、ISO対応)、3D表示
1μm〜nmの透明膜の膜厚測定
室温~1000℃の高温加熱ステージ(真空、不活性ガス、大気中での測定)

分析対象

試料サイズ電動ステージ(100mmx100mm)に載れば測定可能
高温加熱ステージの試料サイズは直径5mm、厚さ1mm以下

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