物理・表面計測系
薄膜結晶用X線回折装置(XRD)
| メーカー | リガク |
|---|---|
| 型番(形式) | SmartLab |
| 設置場所 | 22号館401号室 |
| 管理室 | X線分析室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
多彩な薄膜評価手法の利用が可能なX線回折装置。試料を水平保持のまま測定可能なので、試料の反りや歪みを防ぐことができる。薄膜試料の測定の他、バルク、粉末、単結晶試料の測定も可能である。
装置性能および仕様
| X線発生装置 | 回転対陰極式 |
|---|---|
| 最大定格出力 | 9kW |
| 定格電圧 | 20～45kV |
| 定格電流 | 10～200mA |
| ターゲット | Cu |
| 入射光学系 | 集中法または平行法、Ge(220) 2結晶、4結晶モノクロメータ |
| 受光光学系 | ソーラースリット、グラファイトモノクロメータ、Ge 2結晶アナライザ |
| 検出器 | シンチレーションカウンタ、一次元検出器(D/teX Ultra)、二次元検出器(PILATUS 100K/R) |
| ゴニオメータ | 試料水平保持方式 |
| 測定の種類 | 2θ－θ測定、ロッキングカーブ測定、in plane測定、逆格子空間マッピング、極点測定、反射率測定、小角散乱 |
| 温度 | 常温のみ |
分析対象
| 状態 | 薄膜、多結晶、粉末、単結晶 |
|---|---|
| 物質 | 金属、無機化合物、有機物、高分子 |
| 最大試料サイズ | 直径150mmx3mmt |