物理・表面計測系
薄膜結晶用X線回折装置(XRD)
メーカー | リガク |
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型番(形式) | SmartLab |
設置場所 | 22号館401号室 |
管理室 | X線分析室 |
公開範囲 | 学内外 |
技術職員 | 配置あり |
学内利用 | 機器分析受付システム |
多彩な薄膜評価手法の利用が可能なX線回折装置。試料を水平保持のまま測定可能なので、試料の反りや歪みを防ぐことができる。薄膜試料の測定の他、バルク、粉末、単結晶試料の測定も可能である。
装置性能および仕様
X線発生装置 | 回転対陰極式 |
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最大定格出力 | 9kW |
定格電圧 | 20~45kV |
定格電流 | 10~200mA |
ターゲット | Cu |
入射光学系 | 集中法または平行法、Ge(220) 2結晶、4結晶モノクロメータ |
受光光学系 | ソーラースリット、グラファイトモノクロメータ、Ge 2結晶アナライザ |
検出器 | シンチレーションカウンタ、一次元検出器(D/teX Ultra)、二次元検出器(PILATUS 100K/R) |
ゴニオメータ | 試料水平保持方式 |
測定の種類 | 2θ-θ測定、ロッキングカーブ測定、in plane測定、逆格子空間マッピング、極点測定、反射率測定、小角散乱 |
温度 | 常温のみ |
分析対象
状態 | 薄膜、多結晶、粉末、単結晶 |
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物質 | 金属、無機化合物、有機物、高分子 |
最大試料サイズ | 直径150mmx3mmt |