成膜室
分析装置・機器リスト
機器名 マグネトロンスパッタリング装置 メーカー アルバック 型番(形式) VTR-151M/SRF 設置場所 ２２号館１６４室 公開範囲 学内のみ 機器名 真空蒸着装置 メーカー アルバック 型番(形式) VTR-060M/ERH 設置場所 ２２号館１６４室 公開範囲 学内のみ 機器名 イオンビームスパッタリング装置 メーカー 日本真空技術社 型番(形式) IBS-2000BK 設置場所 ２２号館１６４室 公開範囲 学内のみ
| 機器名 | マグネトロンスパッタリング装置 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番(形式) | VTR-151M/SRF |
| 設置場所 | ２２号館１６４室 |
| 公開範囲 | 学内のみ |
| 機器名 | 真空蒸着装置 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番(形式) | VTR-060M/ERH |
| 設置場所 | ２２号館１６４室 |
| 公開範囲 | 学内のみ |
| 機器名 | イオンビームスパッタリング装置 |
|---|---|
| メーカー | 日本真空技術社 |
| 型番(形式) | IBS-2000BK |
| 設置場所 | ２２号館１６４室 |
| 公開範囲 | 学内のみ |