物理・表面計測系

透過型電子顕微鏡

メーカー 日本電子
型番(形式) JEM-2100Plus
設置場所 22号館102室
管理室 透過型電子顕微鏡室I
公開範囲 学内外

透過型電子顕微鏡特有の観察手法である転位や暗視野像の観察に十分なコントラストが得られるため、材料の結晶学的な知見を得ることができる。

装置性能および仕様

加速電圧 80~200 kV
電子銃 LaB6
観察モード 透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)
分析機能 エネルギー分散型X線分光器(EDS)
試料ホルダ 強化仕様ベリリウム試料2軸傾斜ホルダ(X軸:±15度、Y軸:±25度)
高傾斜試料台 (X軸:±80度)
分解能 TEM粒子像:0.31nm、TEM格子像:0.14nm、STEM明視野像:2.0nm
画面上での倍率 TEM像:×30~×800,000(ハイコントラスト仕様)、STEM像:×100~×2,000,000
観察画像 明視野走査透過像、暗視野走査透過像の取得が可能
取得した連続傾斜像からの三次元画像取得が可能(電子線トモグラフィー)

分析対象

試料サイズ 試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります
状態 無機物質

検索キーワード