物理・表面計測系

低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)

jsm7800f
メーカー日本電子
型番(形式)JSM-7800F
設置場所22号館409号室
管理室走査電子顕微鏡室III
公開範囲学内外

JSM-7800FはEDS、カソードルミネッセンス検出器付きの低加速電圧型FE-SEMです。加速電圧を数kv以下にすることにより、絶縁体、電子ビームで損傷しやすい材料、高加速電圧では観察しにくい微細構造の観察ができます。

装置性能および仕様

加速電圧0.01~30kv
照射電流数pA~200nA
電子検出器4個(下部、反射電子、上部、上部2次電子)
減速法対応対応(試料印加電圧最高2kv)
倍率×25~×1,000,000
分解能0.8nm(15kv)、1.2nm(1kv減速法)
付属検出器1EDS(オックスフォードX-Max、素子サイズ80mm2、解析ソフトAztecEnergy)
付属検出器2CL(カソードルミネッセンス)検出器(ガタンMonoCL4Elite)
遠隔観察Web会議システムによる立ち会い測定が可能

分析対象

EDS分析分析元素Be~、SiL線マッピング可能
CL測定全光及び分光画像、スペクトル測定、PMT及びCCD、検出波長200~1600nm
分析不可低真空観察には対応していません

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