物理・表面計測系
低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡

メーカー | 日本電子株式会社 |
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型番(形式) | JSM-7800F |
設置場所 | 22号館409号室 |
管理室 | 走査電子顕微鏡室III |
公開範囲 | 学内外 |
JSM-7800FはEDS、カソードルミネッセンス検出器付きの低加速電圧型FE-SEMです。加速電圧を数kv以下にすることにより、絶縁体、電子ビームで損傷しやすい材料、高加速電圧では観察しにくい微細構造の観察ができます。
装置性能および仕様
加速電圧 | 0.01~30kv |
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照射電流 | 数pA~200nA |
電子検出器 | 4個(下部、反射電子、上部、上部2次電子) |
減速法対応 | 対応(試料印加電圧最高2kv) |
倍率 | ×25~×1,000,000 |
分解能 | 0.8nm(15kv)、1.2nm(1kv減速法) |
付属検出器1 | EDS(オックスフォードX-Max、素子サイズ80mm2、解析ソフトAztecEnergy) |
付属検出器2 | CL(カソードルミネッセンス)検出器(ガタンMonoCL4Elite) |
遠隔観察 | Web会議システムによる立ち会い測定が可能 |
分析対象
EDS分析 | 分析元素Be~、SiL線マッピング可能 |
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CL測定 | 全光及び分光画像、スペクトル測定、PMT及びCCD、検出波長200~1600nm |
■分析不可
低真空観察には対応していません
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