低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡

物理・表面計測系

JSM-7800FはEDS、カソードルミネッセンス検出器付きの低加速電圧型FE-SEMです。加速電圧を数kv以下にすることにより、絶縁体、電子ビームで損傷しやすい材料、高加速電圧では観察しにくい微細構造の観察ができます。

加速電圧	0.01～30kv
照射電流	数pA～200nA
電子検出器	4個(下部、反射電子、上部、上部2次電子)
減速法対応	対応(試料印加電圧最高2kv)
倍率	×25～×1,000,000
分解能	0.8nm(15kv)、1.2nm(1kv減速法)
付属検出器1	EDS(オックスフォードX-Max、素子サイズ80mm2、解析ソフトAztecEnergy)
付属検出器2	CL(カソードルミネッセンス)検出器(ガタンMonoCL4Elite)
遠隔観察	Web会議システムによる立ち会い測定が可能

EDS分析	分析元素Be～、SiL線マッピング可能
CL測定	全光及び分光画像、スペクトル測定、PMT及びCCD、検出波長200～1600nm

低真空観察には対応していません

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表

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