物理・表面計測系
低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-7800F |
| 設置場所 | 22号館409号室 |
| 管理室 | 走査電子顕微鏡室III |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
JSM-7800FはEDS、カソードルミネッセンス検出器付きの低加速電圧型FE-SEMです。加速電圧を数kv以下にすることにより、絶縁体、電子ビームで損傷しやすい材料、高加速電圧では観察しにくい微細構造の観察ができます。
装置性能および仕様
| 電子銃 | 低加速電圧ショットキー電界放出型電子銃 |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.01～30kv |
| 照射電流 | 数pA～200nA |
| 電子検出器 | 4個(下部、反射電子、上部、上部2次電子) |
| 減速法対応 | 対応(試料印加電圧最高2kv) |
| 倍率 | ×25～×1,000,000 |
| 分解能 | 0.8nm(15kv)、1.2nm(1kv減速法) |
| 付属検出器1 | EDS(オックスフォードX-Max、素子サイズ80mm2、解析ソフトAztecEnergy) |
| 付属検出器2 | CL(カソードルミネッセンス)検出器(ガタンMonoCL4Elite) |
| 遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
分析対象
| EDS分析 | 分析元素Be～、SiL線マッピング可能 |
|---|---|
| CL測定 | 全光及び分光画像、スペクトル測定、PMT及びCCD、検出波長200～1600nm |
| 分析不可 | 低真空観察には対応していません |