物理・表面計測系
透過型電子顕微鏡


メーカー | 日本電子 |
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型番(形式) | JEM-z2500(後継機:JEM-2800) |
設置場所 | 2号館122B室 |
管理室 | 透過型電子顕微鏡室Ⅲ |
公開範囲 | 学内外 |
JEM-z2500は透過像(TEM)、走査透過像(STEM)、二次電子像、電子回折の観察ができます。そして走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。
その他、EDS分析による元素マッピング、電子線トモグラフィーによる三次元再構成もできます。
JEM-z2500は蛍光板を直接見ないので、明るい部屋で観察できます。
装置性能および仕様
電子銃 | ショットキー電界放出形電子銃 |
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加速電圧 | 200 kV, 100 kV, 80 kV |
分解能 | 透過像(格子像):0.1 nm(加速電圧 200 kV) 走査透過像:0.2 nm(加速電圧 200 kV) 二次電子像(edge to edge):0.5 nm(加速電圧 200 kV) |
倍率(24インチワイドLCD上) | 透過像:×500 ~×20,000,000 走査透過像:×100 ~×20,000,000 二次電子像:×100 ~×20,000,000 |
元素分析 | エネルギー分散型X線分光法(EDS)(検出元素 B~U) |
その他の機能 | 電子線回折を用いた結晶方位解析 電子線トモグラフィー |
遠隔観察 | Web会議システムによる立ち会い測定が可能 |
分析対象
試料サイズ等 | ・3mmΦ のグリッドに試料を載せて高真空中で観察する。 ・電子線が透過できる厚さであることが必要 |
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