物理・表面計測系
透過型電子顕微鏡
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JEM-z2500（後継機：JEM-2800） |
| 設置場所 | 2号館122B室 |
| 管理室 | 透過型電子顕微鏡室Ⅲ |
| 公開範囲 | 学内外 |
JEM-z2500は透過像（TEM）、走査透過像（STEM）、二次電子像、電子回折の観察ができます。そして走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。
その他、EDS分析による元素マッピング、電子線トモグラフィーによる三次元再構成もできます。
JEM-z2500は蛍光板を直接見ないので、明るい部屋で観察できます。
装置性能および仕様
| 電子銃 | ショットキー電界放出形電子銃 |
|---|---|
| 加速電圧 | 200 kV, 100 kV, 80 kV |
| 分解能 | 透過像（格子像）：0.1 nm（加速電圧 200 kV） 走査透過像：0.2 nm（加速電圧 200 kV） 二次電子像（edge to edge）：0.5 nm（加速電圧 200 kV） |
| 倍率（24インチワイドLCD上） | 透過像：×500 ～×20,000,000 走査透過像：×100 ～×20,000,000 二次電子像：×100 ～×20,000,000 |
| 元素分析 | エネルギー分散型X線分光法（EDS）（検出元素 B～U） |
| その他の機能 | 電子線回折を用いた結晶方位解析 電子線トモグラフィー |
| 遠隔観察 | Web会議システムによる立ち会い測定が可能 |
分析対象
| 試料サイズ等 | ・3mmΦ のグリッドに試料を載せて高真空中で観察する。 ・電子線が透過できる厚さであることが必要 |
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