物理・表面計測系

透過型電子顕微鏡(3D-TEM)

jemz2500-1
jemz2500-2
メーカー日本電子
型番(形式)JEM-z2500(後継機:JEM-2800)
設置場所2号館122B室
管理室透過型電子顕微鏡室Ⅲ
公開範囲学内外

JEM-z2500は透過像(TEM)、走査透過像(STEM)、二次電子像、電子回折の観察ができます。そして走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。
その他、EDS分析による元素マッピング、電子線トモグラフィーによる三次元再構成もできます。
JEM-z2500は蛍光板を直接見ないので、明るい部屋で観察できます。

装置性能および仕様

電子銃ショットキー電界放出形電子銃
加速電圧200 kV, 100 kV, 80 kV
分解能透過像(格子像):0.1 nm(加速電圧 200 kV)
走査透過像:0.2 nm(加速電圧 200 kV)
二次電子像(edge to edge):0.5 nm(加速電圧 200 kV)
倍率(24インチワイドLCD上)透過像:×500 ~×20,000,000
走査透過像:×100 ~×20,000,000
二次電子像:×100 ~×20,000,000
元素分析エネルギー分散型X線分光法(EDS)(検出元素 B~U)
その他の機能電子線回折を用いた結晶方位解析
電子線トモグラフィー
遠隔観察Web会議システムによる立ち会い測定が可能

分析対象

試料サイズ等・3mmΦ のグリッドに試料を載せて高真空中で観察する。
・電子線が透過できる厚さであることが必要
分析不可(1) 毒物、危険物
(2) ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料
(3) 強い磁化を持つ試料(磁性体については別途ご相談ください)
(4) 前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料

分析例

下の画像はナノカーボン充填ポリエチレン/ポリプロピレン(PE/PP)複合材料をクライオミクロトームにて超薄切片化した後、加速電圧200kVでTEM観察を行った写真です。
PE/PP複合材料はブレンド比率により海島構造を形成する試料で、あるブレンド比率のTEM像(低倍率)では、PPが島相でPE相が海相を形成しています。そこにナノカーボンを充填した場合、ナノカーボンはプレート状(比較的黒色に観える部分)に観察でき、さらにPE相中に分散しています。また、ナノカーボンの一部はPP相中にも観察されています。

ナノカーボン充填PE/PP複合材料のTEM写真

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