物理・表面計測系

ウルトラミクロトーム

leicaemuc7
メーカーライカマイクロシステムズ
型番(形式)Leica EM UC7, FC7
設置場所2号館909A室
管理室透過型電子顕微鏡室Ⅲ
公開範囲学内外
技術職員配置あり
学内利用機器分析受付システム

透過型電子顕微鏡(TEM)観察で必要な高品質な超薄切片(厚さ約100 nm),走査型電子顕微鏡(SEM)あるいは原子間力顕微鏡(AFM)観察で必要な高い面精度の断面を作製できます。
室温で軟らかい試料は凍結させて切削することもできます(凍結切片作製可能)。

装置性能および仕様

実体顕微鏡 M80 倍率×9.6~×77
切削ウィンドウ0.2-14 mm
電動切削時の切削スピード0.05-100 mm/s
電動切削時の送り(切片の厚さ)0-15000 nm
電動切削時の戻り速度10, 30, 50mm/s
ステップコントロール0.1 ~15 μm
切削制御温度-140℃~室温

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