新共用プロジェクト
白色共焦点顕微鏡
| メーカー | レーザーテック |
|---|---|
| 型番(形式) | OPTELICS HYBRID C3 |
| 導入年度 | 2015 |
| 設置場所 | 1号館109A室 |
| 管理室 | RCS-I |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
キセノン光源白色光（RGB分離）を使用。
高速サンプルレートが可能。
反射分光測定による1μm〜nｍの膜厚測定
高温環境下での表面形状測定
装置性能および仕様
| 装置性能および仕様 | 白色光源および6波長選択機能 |
|---|---|
| 高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定（JI S、ISO対応）、３D表示 | |
| 1μm〜nｍの透明膜の膜厚測定 | |
| 室温～1000℃の高温加熱ステージ（真空、不活性ガス、大気中での測定） |
分析対象
| 試料サイズ | 電動ステージ（100mmx100mm）に載れば測定可能 |
|---|---|
| 高温加熱ステージの試料サイズは直径5mm、厚さ1mm以下 |