物理・表面計測系
走査型電子顕微鏡
| メーカー | 日本電子株式会社 |
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| 型番(形式) | JSM-6510 |
| 設置場所 | 22号館401室 |
| 管理室 | 走査電子顕微鏡室II |
| 公開範囲 | 学内外 |
内部起電力像測定用プローブシステムにより、半導体デバイスの欠陥分析などに用いられる、EBIC測定、観察ができます。
装置性能および仕様
| 加速電圧 | 0.5 ～ 30ｋV |
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| 二次電子分解能 | 3 nm（30 kV）8 nm（3 kV） 反射電子分解能：4 nm（30 kV） |
| 倍率 | ×5 ～ ×300,000 |
分析対象
| 分析対象 | 固体（金属、酸化物、有機物、生物） |
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