物理・表面計測系
走査型電子顕微鏡

メーカー | 日本電子株式会社 |
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型番(形式) | JSM-6510 |
設置場所 | 22号館401室 |
管理室 | 走査電子顕微鏡室II |
公開範囲 | 学内外 |
内部起電力像測定用プローブシステムにより、半導体デバイスの欠陥分析などに用いられる、EBIC測定、観察ができます。
装置性能および仕様
加速電圧 | 0.5 ~ 30kV |
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二次電子分解能 | 3 nm(30 kV)8 nm(3 kV) 反射電子分解能:4 nm(30 kV) |
倍率 | ×5 ~ ×300,000 |
分析対象
分析対象 | 固体(金属、酸化物、有機物、生物) |
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学内利用方法および利用料金
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