オージェ分析室

測定原理

オージェ電子分光装置とは、電子線を固体表面に照射した時に放出されるオージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより、固体表面の元素分析を行うものです。特に本装置は、電界放出型電子銃を搭載しており、最小プローブ系３nm（二次電子分解能）、８nm（オージェ分析）という性能で、高い空間分解能が保障されています。さらにオージェ分析には、多重検出器付きの静電半球型アナライザー（HAS）を用いており、高エネルギー分解能で高感度のオージェ分析が可能で、オージェ分析による化学状態分析にも大きな威力を発揮することができます。本装置により、高分解能二次電子像による形態観察、高倍率でのオージェ像分析、ラインプロファイル分析、そしてイオンエッチングを併用したデプスプロファイル分析ができます。また中和銃の採用により、セラミックスなどの絶縁物の分析も可能となっています。

分析装置・機器リスト

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