光電子分光室
測定原理
本装置は細束軟Ｘ線を物質に照射し、放出される光電子のエネルギー分析を行ない、元素の同定、定量、状態、分布などを調べるものである。あらゆる固体物質について微小領域の分析が可能である。 上図は本装置の概念図である。
分析装置・機器リスト
機器名 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) メーカー アルバック・ファイ 型番(形式) PHI Quantes 設置場所 22号館159室 公開範囲 学内外
機器名 触針式膜厚計 メーカー ULVAC 型番(形式) Dektak150 設置場所 22号館259室 公開範囲 学内
