主に透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡の試料作製装置として非導電性試料にコーティングを行う装置です。この装置は、2つの試料処理チャンバー（カーボンチャンバー、イオンチャンバー）と4種の処理機能（カーボン蒸着、金属蒸着、マグネトロンスパッタ膜及び親水処理機能）を搭載した複合前処理装置です。