物理・表面計測系
カーボン蒸着装置
| メーカー | 日立 |
|---|---|
| 型番(形式) | HUS-5GB |
| 設置場所 | 22号館401室 |
| 管理室 | 透過型電子顕微鏡室Ⅲ |
| 公開範囲 | 学内 |
カーボン蒸着コロジオン膜のカーボン補強膜、カーボンレプリカ膜、シャドーイング及び金属蒸着膜の作製などが可能です。
本装置は、主にカーボン（炭素）蒸着です。
装置性能および仕様
| 蒸着源 | カーボン |
|---|---|
| ベルジャー | ベルジャー上下機横付軟質ガラス（保護カバー付）φ246（φ230）×240H |
| 到達真空度 | ×10-6 Torr |
| 排気系 | 手動操作 |
| 真空計 | ペニング真空計 |