主に走査電子顕微鏡の試料作製装置として、ターゲットに白金（標準装備）を用いて、非導電性試料にコーティングを行うイオンスパッタ装置です。
試料回転傾斜装置を装着し、試料を回転傾斜することにより、凹凸の激しい試料にも良好なコーティングができます。