物理・表面計測系
真空蒸着装置
メーカー | 日本電子株式会社 |
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型番(形式) | JEE-420T |
設置場所 | 2号館9階909A室 |
管理室 | 透過型電子顕微鏡室III |
公開範囲 | 学内のみ |
学内利用 | 機器分析受付システム |
透過電子顕微鏡および走査電子顕微鏡などでの分析・高分解能観察に適したカーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導電性材に導電性を与えるためのコーティング処理が可能です。
試料回転傾斜装置を装着し、試料を回転傾斜することにより、凹凸の激しい試料にも良好なコーティングができます。
装置性能および仕様
到達圧力 | 1×10-4 Pa以下 |
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蒸着用電極 | 2極(カーボン、金属) |
分析対象
試料サイズ | 試料回転傾斜装置装着時の試料載台:直径 25.4 mm,直径 12.5 mm |
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分析対象不可
(1)毒物、危険物
(2)ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料